設備原理簡單，主要利用活性炭的高吸附性，使廢氣中的有機物由氣相轉移至固相，從而達到凈化的目的。但是這套設備同時也具有明顯的缺點，它不適合高濃度、高溫的廢氣處理，且活性炭需要定期更換，容易造成二次固廢污染。

廢氣處理的原理有活性炭吸附法、高溫焚燒、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。